Бесплатный Банк Рефератов - Усовершенствование блока управления и конструкции реактора установки вакуумного напыления

Рефераты. Усовершенствование блока управления и конструкции реактора установки вакуумного напыления

Исходя из реальных требований к лабораторной установке по остаточному давлению газов, реальных температурных условий эксплуатации, вышеперечисленных требований к вакуумным уплотнителям и экономической целесообразности, нами выбрано два типа резины, подходящих для изготовления мембраны устройства передачи движения в вакуумную систему, физико-механические свойства которых приведены в табл. 4. Однако с учетом требований по химической стойкости окончательный выбор сделан в пользу хотя и более дорогой, но более химически стойкой резины марки 9024.

[ 2.стр.304 ]

Рисунок 13. Передача вращательного движения заслонки.

2.3.2. Конструкция механизма поворота заслонки

Выбор механизма ввода движения в вакуумную камеру, сделанный в предыдущем параграфе, во многом предопределяет конструкцию всего механизма поворота заслонки. При его разработке использованы стандартные технические решения, что, с учетом отсутствия значительных нагрузок на подвижные (вращающиеся) детали конструкции, позволило отказаться от расчетов прочности валов. Выборы размеров диктовались реальными габаритными данными вакуумной камеры модернизируемого устройства, характер механической обработки деталей - общими машиностроительными требованиями.

Эскиз механизма поворота представлен на рис.14. Процесс изготовления валика приведен в технологической части 3, таблице 6.

Таблица 2. Характеристики устройства ввода движения

Наименование ввода движения

Диапазон рабочих давлений,

Па

Максималь-ная темпера-тура прогрева,

Вид уплотни-теля

Частота враще-ния, об/мин

Макси-мальный пере-даваемый момент,

Н.м

Ввод вращения с промежуточным звеном,совершаю-щим лоскопарал-лельное движение

10-3- 10-5

350 -450*

Резино-вая мембра-на

до 100

* В зависимости от марки вакуумной резины, из которой изготовлена мембрана.

Таблица 3. Физико-механические свойства вакуумной резины марок

7889 (1) и 9024(2)

Миним. рабочая темп-ра в вакууме,К

Максим.

рабочая темп-ра в вакууме, К

Хими-ческая стой-кость

Удельн. поток газовыдел. при максим. рабочей темп-ре,

м3 Па/(м2с)

Характе-ристика продук-тов газовы-деления

Прони-цаемость при давлении

105Па/(м2с)

по азоту

243

350

Нестой-кая

5,3•10-5

твердые, жидкие, газообраз-ные

2,3•10-7

240

360

Масло-стойкая

2,7•10-5

-“-

2,5•10-8

Рис. 14 Эскиз поворотного валика

3.ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ

Технология изготовления печатной платы и поворотного валика представлены в таблицах 2 и 3

Рис. 15 Печатная плата управляющего устройств

Таблица 4 Технология изготовления печатной платы

Режим

№ опера-ции

Наименование операции

Оборудование,

инструмент,

приспособления

Фото-материал

Концен-трация или количе-ство

темпера-тура,

оС

время,

мин

Проверить качество поверхности и прочность сцепления фольгированного диэлектрика в соответ-ствии с требованиями МРТУ

Инструмент оговаривается МРТУ

Штамповать или нарезать заготовки плат с учетом технологического припуска

Пресс эксентриковый вырубной или ножницы, угольник, линейка

Снять заусениц по периметру заготовки

Установка для снятия заусениц или напильник личной

Сверлить фиксирую-щие отверстия (в слу-чае технологической

необходимости)

Сверлильный станок, кондуктор, сверло спиральное

Снять заусеницы в фиксирующих отверстиях

Развертка, надфиль

Очистить поверхность заготовки, предварительно смочив ее водо

Полировальная машина или вруч-ную

Шлифпоро-шок № 5, венская известь

Промыть проточной водой (холодной)

Ванна с душевым устройством

20 5

0,5-1,0

Декапировать

Ванна

Кислоты соляная или серная

50-100 г/л

10-15 сек

Промыть проточной холодной водой

Ванна с душевым устройством

20± 5

0,5-1,0

10.

На фольгированную поверхность заготовки

нанести слой эмульсии

Ванна

Поливини-ловый спирт

Аммоний двухромо-вокислый

ОП-10

(ОП-7)

5%-ный раствор спирта

70-90 г/л

10-15 г/л

5 мг/л

Страницы: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11